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池田屋現貨!!富士金FUJIKIN 數控閥 FPR-PSD-21-6.35UGC#B池田屋實業優勢供應 ,并提供報價圖片
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池田屋現貨!!富士金FUJIKIN 數控閥 FPR-PSD-21-6.35UGC#B
池田屋現貨!!富士金FUJIKIN 數控閥 FPR-PSD-21-6.35UGC#B
富士金(FUJIKIN)是日本的高精度流體控制設備制造商,其產品廣泛應用于半導體、光伏、科研等領域。
FPR-PSD-21-6.35UGC#B 是一款高性能數字控制閥(數控閥),專為高精度氣體流量控制設計,適用于嚴苛的工業環境。
1. 主要特點
高精度控制:流量控制精度可達 ±1% FS(滿量程),適用于微流量調節。
快速響應:開關時間 毫秒級(通常20-50ms),適合高速工藝需求。
耐腐蝕材料:閥體通常采用不銹鋼(SUS316L),密封材料可選氟橡膠(FKM)、EPDM等,適用于腐蝕性氣體(如HCl、Cl?、NH?等)。
數字信號控制:支持RS-485、EtherCAT、PROFIBUS等通信協議(具體取決于配置),或模擬信號(4-20mA/0-5V)輸入。
緊湊設計:體積小,適合高密度安裝,節省設備空間。
高可靠性:適用于7×24小時連續運行,壽命長,維護需求低。
2. 典型應用
半導體制造:用于CVD(化學氣相沉積)、蝕刻、離子注入等工藝的氣體流量控制。
光伏行業:在薄膜太陽能電池制造中控制SiH?、NH?、NF?等特種氣體。
實驗室設備:如氣相色譜(GC)、質譜儀(MS)等需要高精度流量控制的場景。
3. 技術參數(示例,具體以數據為準)
項目 | 參數 |
---|---|
型號 | FPR-PSD-21-6.35UGC#B |
接口尺寸 | 6.35mm(1/4英寸) |
閥體材質 | SUS316L(標準) |
密封材料 | 氟橡膠(FKM)或其他可選 |
工作壓力 | 0.1~0.7 MPa(可定制更高壓力) |
流量范圍 | 0~50 SLM(標準氮氣,可定制) |
控制信號 | 數字(RS-485/EtherCAT)或模擬(4-20mA/0-5V) |
響應時間 | ≤50ms(全開→全關) |
重復精度 | ±1% FS |
環境溫度 | 0~50°C(可定制高溫/低溫版本) |
認證 | CE、SEMI(部分型號符合半導體行業標準) |